1、内部无弹簧，阀座和膜片一体焊接设计；

2、内部容积小，可完全清扫流道；

3、钴基超级合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长；

4、全封闭式阀座设计，提高抗膨胀和防污染能力，改进的氦气泄露测试性能。同时极少产生颗粒，使用寿命长；

5、内表面粗糙度可达Ra 0.13μm(5μin.)；

6、高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业；

7、 每个产品出厂前都经过氦气测试。